真空探针台的技术指标及主要功能

高低温真空探针台是一种用于电子与通讯技术范畴的工艺实验仪器。

　　高低温真空探针台技术指标：

　　1、六个探针臂接口，可以装置六个探针臂。

　　2、一个CF40真空抽气口，一个疾速破真空进气口。

　　3、载物Chuck温度范围：4K-500K;CF法兰接口，零碎极限真空优于5*10-6Pa。

　　4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s;探针X-Y-Z三方向挪动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。

　　5、双屏蔽chuck高低温时到达100FA的测试精度。

　　高低温真空探针台主要功能：

　　可以完成样品在高温真空环境的测试，完成样品在10-4PA真空度，4.2K到480K恣意温度点的准确电学测量，可完成直流和微波(40GHz)的测量。

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